噴膠機(jī)是現(xiàn)代光電子產(chǎn)業(yè)中光刻膠涂布的重要設(shè)備。可對(duì)不同尺寸和形狀的基片進(jìn)行涂膠，最大涂膠尺寸達(dá)8”，得到厚度均勻的光刻膠層，同時(shí)可對(duì)大深寬比結(jié)構(gòu)的側(cè)壁進(jìn)行均勻涂膠；通過計(jì)算機(jī)系統(tǒng)控制器進(jìn)行工藝參數(shù)的編輯和操作。
噴膠機(jī)對(duì)噴膠使用性能如下：
1.可用于對(duì)不同形狀尺寸的基片進(jìn)行噴膠.最大噴膠尺寸要求達(dá)到8”。
2.可對(duì)不粘度的膠進(jìn)行噴涂，供膠分辨率在15uL以內(nèi)。
3.可對(duì)大深寬比結(jié)構(gòu)進(jìn)行側(cè)壁涂膠，得到厚度均勻的膠膜。
4.噴膠均勻性要求：單片表面≤±15%，片間為≤±10%。
5.計(jì)算機(jī)系統(tǒng)控制工藝參數(shù)。
6.可手動(dòng)卸載基片。
7.可對(duì)基片喝夾具加熱。
8.噴膠室易清洗。
9.供膠流速和流量可編程。
10.供膠回吸量可調(diào)節(jié)。
11.適用于所有光刻膠和聚合物。
12.具有自動(dòng)針管式膠液供給系統(tǒng)，可調(diào)節(jié)壓力控制及測量計(jì)，并具有膠液回吸功能。
13.基片可對(duì)準(zhǔn)等等。m.qmwq.cn
